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美國Aalborg氣體質(zhi)量流量計控制器(qi)
美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于(yu)1972年，是**上(shang)**的(de)氣體質量流(liu)量計/控(kong)制器的(de)生(sheng)產廠家，其產品廣泛用于(yu)微電子工藝、真(zhen)空(kong)鍍(du)膜、材(cai)料科(ke)學、石油化(hua)工、醫(yi)藥、環保等領域。
產(chan)品(pin)特點(dian)：性(xing)價比高(gao)、響應(ying)速度快、可(ke)靠性(xing)高(gao)，易于(yu)集成、環路保護、備總量計(ji)數器
典型應用(yong)：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射(she)、ITO、玻(bo)璃(li)鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(she)計特點：
－剛性金(jin)屬結(jie)構(gou)
－流(liu)程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－*大壓力(li)500psig（34.5Bar）
－泄(xie)漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統標定(ding)可追(zhui)蹤(zong)的證明(ming)
－可傾斜(xie)的(de)LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸(shu)出
－電路保護
－可用(yong)作便(bian)攜式的設備
－0到**比例顯示
－可(ke)配備流(liu)量(liang)計算機(ji)
產(chan)品(pin)特點(dian)：性(xing)價比高(gao)、響應(ying)速度快、可(ke)靠性(xing)高(gao)，易于(yu)集成、環路保護、備總量計(ji)數器
典型應用(yong)：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射(she)、ITO、玻(bo)璃(li)鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(she)計特點：
－剛性金(jin)屬結(jie)構(gou)
－流(liu)程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－*大壓力(li)500psig（34.5Bar）
－泄(xie)漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統標定(ding)可追(zhui)蹤(zong)的證明(ming)
－可傾斜(xie)的(de)LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸(shu)出
－電路保護
－可用(yong)作便(bian)攜式的設備
－0到**比例顯示
－可(ke)配備流(liu)量(liang)計算機(ji)
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