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美(mei)國KLA - TENCOR光學表面分析儀(yi)
KLA-Tencor公司為**美(mei)資半導(dao)體（芯(xin)片）設備(bei)供貨商(shang)，公司總部在美(mei)國(guo)硅谷，擁有 6000 多名員工，自1976年成立以來不斷致力(li)于產品(pin)(pin)研究與(yu)發展，客戶提供更*善更人性化(hua)服務，并協助半導(dao)體（芯(xin)片）廠商(shang)創造高品(pin)(pin)質、**率的產品(pin)(pin)，目前分公司遍布(bu)美(mei)洲(zhou)(zhou)、歐洲(zhou)(zhou)、亞洲(zhou)(zhou)等(deng)國(guo)家(jia)。KLA-Tencor 一直致力(li)于幫助其(qi)客戶降低運營成本并增(zeng)加(jia)收益，并已(yi)經成為其(qi)堅定不移的長期合作(zuo)伙伴(ban)。
KLA-Tencor主要產品(pin):
CS20光學表面分析(xi)儀
WaferSight PWG 已圖案晶(jing)圓(yuan)幾(ji)何形狀測量系統
LMS IPRO6 光(guang)罩圖案位置測量系統
K-T Analyzer 9.0 先進數(shu)據分析系(xi)統
2920 系列(lie)寬(kuan)波等離子圖案晶(jing)圓缺陷(xian)檢測系統
Puma 9850 激光掃描(miao)圖案晶圓缺陷(xian)檢(jian)測系統
Surfscan SP5 無圖(tu)案(an)晶(jing)圓缺陷
Teron SL650 光罩檢測(ce)系統
處理450mm硅片的Surfscan SP3系統
KLA-Tencor主要產品(pin):
CS20光學表面分析(xi)儀
WaferSight PWG 已圖案晶(jing)圓(yuan)幾(ji)何形狀測量系統
LMS IPRO6 光(guang)罩圖案位置測量系統
K-T Analyzer 9.0 先進數(shu)據分析系(xi)統
2920 系列(lie)寬(kuan)波等離子圖案晶(jing)圓缺陷(xian)檢測系統
Puma 9850 激光掃描(miao)圖案晶圓缺陷(xian)檢(jian)測系統
Surfscan SP5 無圖(tu)案(an)晶(jing)圓缺陷
Teron SL650 光罩檢測(ce)系統
處理450mm硅片的Surfscan SP3系統
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