KASHIYAMA工業(ye)(ye)的產品在半導(dao)(dao)體制造領域(yu)和高科技行(xing)業(ye)(ye)中(zhong)已經榮獲了*高的評(ping)價與(yu)信(xin)賴(lai)。尤其是來自于(yu)半導(dao)(dao)體制造行(xing)業(ye)(ye)的信(xin)賴(lai),這是KASHIYAMA工業(ye)(ye)多(duo)年長期以來不斷開(kai)發進取真(zhen)空(kong)技術(shu)的結果。

KASHIYAMA工業的(de)(de)(de)干式(shi)(shi)真(zhen)空泵(beng)系列已經(jing)成(cheng)為半(ban)導體(ti)制造(zao)業與液晶顯(xian)示制造(zao)行業的(de)(de)(de)標(biao)準設(she)備(bei)。并在(zai)*高難度(du)的(de)(de)(de)制程發揮上獲得了(le)客戶的(de)(de)(de)信賴(lai)與評價。除(chu)了(le)干式(shi)(shi)真(zhen)空泵(beng)以外(wai),魯式(shi)(shi)及排氣組合式(shi)(shi)真(zhen)空泵(beng)設(she)備(bei)在(zai)廣泛的(de)(de)(de)領域(yu)當中發揮它的(de)(de)(de)威(wei)力(li)。

產品詳(xiang)細信息:

プロダクトガイド - LEH/LEMシリーズ - 製(zhi)品の特徴 ポンプの構造(zao)原(yuan)理:當社(she)製(zhi)水(shui)(shui)封式真(zhen)空ポンプは円形ケーシングと羽根車より本體を構成し羽根車はケーシングと偏心(xin)した位(wei)置に取り付けられています。ケーシング內に適當量の水(shui)(shui)を入(ru)れて羽根車を回転させると、水(shui)(shui)は遠心(xin)力(li)によってケーシングと同心(xin)の円形狀の水(shui)(shui)膜を作(zuo)りながら運動します。

これにより水膜と隣(lin)接する羽根(gen)と羽根(gen)とによって密閉された空(kong)間が生じ、羽根(gen)車(che)が回転(zhuan)するにしたがって空(kong)間は容(rong)積変化して、吸入、圧縮、排気を連(lian)続的(de)に行ない非(fei)常に高能(neng)率なポンプとなっています。

公害問題(ti)の面から吸引(yin)気體中に含(han)まれる種(zhong)々の有害ガスが水(shui)に溶解(jie)または混合して排出(chu)されるのを防ぐため封水(shui)を直接流出(chu)させないで循環させて使用する方式もあります。

LEH/LEMシリーズの特徴:

水蒸(zheng)気や水滴を含んだ気體の排気に適(shi)である。

引火(huo)性ガスや腐食性ガスの排気ができる。

摩擦(ca)部(bu)分が少(shao)なく故(gu)障がないので連続運転に耐えられる。

低騒音でかつ振動が少(shao)ない。

連続排気(qi)で脈動がない。

軸封にメカニカルシールを使(shi)用し、メンテナンスが容(rong)易。

全機種エルモ形で従(cong)來(lai)のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい。

定流量弁を內蔵して適量給水方式を採用している。

LEH型(xing)は2段ポンプで高真空用に、LEM型(xing)はモーター直結型(xing)ポンプでコンパクト、軽(qing)量(liang)です。

        真空(kong)泵LEH100MS

真空泵(beng)LEH100MS

真空泵LEH100MS

真空泵(beng)LEH100MS

真空泵(beng)NeoDry 36E

真(zhen)空泵NeoDry 36E

真空泵NeoDry 36E

真空泵NeoDry 36E