HORIBA通過遍布**的(de)(de)(de)運營公司，提供面向多個行業的(de)(de)(de)廣泛(fan)的(de)(de)(de)儀(yi)器和系統，其(qi)中包括汽車(che)研發(fa)、過程和環境監測、體外醫療(liao)診斷、半(ban)導體生產與(yu)計量(liang)以(yi)及多種科學(xue)研發(fa)與(yu)質控測量(liang)。HORIBA出(chu)類(lei)拔萃的(de)(de)(de)質量(liang)和值(zhi)得(de)信賴的(de)(de)(de)性能，贏得(de)了客戶的(de)(de)(de)廣泛(fan)的(de)(de)(de)信賴。

我們在(zai)“新奇 有趣”這個別具一(yi)格(ge)的企業哲(zhe)學(xue)的指引(yin)下，通過提供(gong)科學(xue)進步所需的**產品，履行我們的社會責任(ren)——尤(you)其是在(zai)保護健康、**和環境方面。遍布**每個角(jiao)落(luo)的“HORIBA人”，期待著與(yu)您(nin)合作，為您(nin)提供(gong)滿足需求(qiu)的*佳分析解決方案。

HORIBA提供多種(zhong)自動(dong)注(zhu)入裝置，**、可靠的(de)傳(chuan)輸(shu)液體(ti)(ti)到(dao)任(ren)何(he)端(duan)點(dian)。針(zhen)對(dui)半(ban)導體(ti)(ti)工藝(yi)挑剔的(de)要求(qiu)，HORIB提供的(de)產品中需要接觸液體(ti)(ti)的(de)零部(bu)件全部(bu)采用(yong)(yong)不銹鋼材料，以達到(dao)高性(xing)能的(de)表現效果。HORIBA的(de)直接注(zhu)入式(shi)汽化器可傳(chuan)輸(shu)TEOS、TEB、TEPO。針(zhen)對(dui)光(guang)刻、擴散工藝(yi)中用(yong)(yong)到(dao)的(de)強腐(fu)(fu)蝕性(xing)材料，FDM系統(tong)選(xuan)用(yong)(yong)抗腐(fu)(fu)蝕非金屬材料，保證(zheng)工藝(yi)系統(tong)的(de)壽命(ming)及**。FDM可傳(chuan)輸(shu)液體(ti)(ti)PCL3或BBr3至HORIBA先進的(de)溫度(du)補償鼓泡(pao)裝置裝置VM系列。

HORIBA榮獲液體傳輸系(xi)列大獎(jiang)（FDM系(xi)列），此獎(jiang)項表彰于(yu)HORIBA在擴散工藝中成功開發(fa)了POCL3自動傳輸系(xi)統，實現(xian)POCL3傳輸特制塑料鼓泡(pao)裝置內。

FDM和(he)VM系統適用(yong)于硅基電池片的(de)擴(kuo)散制程，同樣可以用(yong)于BBr3的(de)擴(kuo)散制程，減少運輸和(he)人力(li)成本，提高**性。

規格

1.提高產能

VM系(xi)列（汽化傳(chuan)輸(shu)系(xi)統）無需使用傳(chuan)統的石英(ying)鼓泡器更換，實現*小化停(ting)機時間，有(you)效提供產能。

2.減少(shao)運營(ying)成(cheng)本

FDM系列可(ke)減少POCL3消耗(hao)：每公斤可(ke)降低30*的價格

依賴于(yu)持續工作，實(shi)現超過99.8*的正常運營時(shi)間(jian)

減少POCL3浪費

更(geng)長的壽(shou)命，更(geng)低的維(wei)護成(cheng)本，系統內(nei)部工藝(yi)流程無需暴(bao)露于(yu)周圍環境(jing)

3.提(ti)高工藝穩定

VM系(xi)列一直將液(ye)位(wei)保持”High”狀態，使整個(ge)工(gong)藝流程相比較石英鼓(gu)泡系(xi)統更為穩(wen)定(ding)

由于鼓泡(pao)裝置(zhi)的持續(xu)注入(ru)，液位將不會受到影響

無鼓泡裝置需更(geng)換，避免操作失誤

無環境溫度的(de)影響

薄(bo)層電阻相較于(yu)傳統鼓泡裝置更為穩定，再現性更出色

4.提升**性(xing)

無石(shi)英(ying)材料。VM系列將由PFD材質(zhi)構建。相較于(yu)石(shi)英(ying)材料，PFD更為堅(jian)固(gu)，無需替換

無需定期更換parts，減少(shao)人工操(cao)作(zuo)失誤

POCL3將從20L的不銹(xiu)鋼瓶(ping)傳輸控制至PFA管路

堅固(gu)、無泄漏的鼓泡(pao)外(wai)殼與(yu)廠務端鏈接排氣

集成液體(ti)泄漏，氣體(ti)泄漏監測裝(zhuang)置(zhi)

濕線清理與泄(xie)漏自動監測

5.提高可靠性

POCL3是(shi)一款親水性(xing)強可產生磷酸導致腐蝕或結晶的(de)液(ye)體(ti)。常規的(de)鼓泡系(xi)統(tong)(tong)需(xu)要定期更換會導致提升與空氣接觸的(de)可能性(xing)。HORIBA POCL3的(de)自(zi)動注入系(xi)統(tong)(tong)不需(xu)要定期更換鼓泡系(xi)統(tong)(tong)，有效降低了POCL3管道與空氣接觸的(de)可能性(xing)。

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